3种常见高真空泵的对比

2013年09月16日
泵的种类 低温泵 扩散泵 涡轮分子泵
工作方式 将气体微粒冻结到一块“多孔性材料”上,
从而捕获气体微粒
用快速流动的油捕获气体微粒,并
将它们导出真空室
用高速旋转的叶片产生强力气流,从
而将气体微粒导出腔室
应用 尤其适合于半导体及平面显示器的应用
仅用于高级太阳能电池工艺
适合于大多数应用,但半导体除外
建议不要用于反应式镀膜
适合于大多数应用
优点 非常适合于移动速度快的小原子,例如:
氦气、氢气和水蒸气
多种安装方式,允许任何方向
价格低廉
可靠度高
适用于较大的空间
良好的抽气特性
无需维护
多种安装方式,允许任何方向
无污染源
缺点 需要再生
抽气速度不稳定
气流较大时效果不理想
可能造成污染(油气)
只能直立安装
建议不要用于活性气体,存在爆炸危险
高压(排气)可能造成损坏
来源:山本焊接波纹管(上海)有限公司